我們經常談論通過密切關注空氣中的顆粒來監測潔凈室的潔凈度。但是，當空氣中的顆粒不再通過空氣中傳播時會發生什么呢？這就是我們所說的粒子沉積。當顆粒沉積時，它會在潔凈室中造成污染和混亂。因此，了解什么是顆粒沉積、它是如何發生的以及如何在潔凈室中最大限度地減少或防止顆粒沉積非常重要。當顆粒沉積在表面上時，就會發生表面顆粒沉積。從本質上講，粒子在空氣中移動，更接近物體，直到進入“邊界層”。這是直接圍繞物理對象的空氣層。有各種類型的機制將粒子從邊界層轉移到表面。在潔凈室中，我們一直在監測空氣中的顆粒物。這是我們監測清潔度的主要重點。但這意味著我們無法如此密切地監測表面顆粒。但這些顆粒也會在我們的潔凈室中造成污染和干擾。因此，我們需要注意顆粒沉積以及如何防止它，以限制潔凈室中的污染。顆粒沉積機制是顆粒穿過邊界層沉積在表面上的一種方式。機制有八種：重力沉降、湍流沉積、靜電吸引、布朗擴散、撞擊、截留、渦輪電泳和熱泳。
為了確定潔凈室中最重要的機制，我們將研究通過關鍵觀察和實驗開發的一組數據。在這個實驗中，我們使用了一個地板尺寸為6米乘4.2米的非UDAF潔凈室。墻高2.7m，體積67.5m3。天花板上的九個風扇過濾裝置供應空氣。每臺風機供應450m3/小時。僅使用兩個風扇單元來確保顆粒沉積速率（PDR）足夠高，以便完成實驗并獲得更高的顆粒濃度。他們提供的總供氣量為900m3/小時，換氣率約為13次/小時。
雖然我們在潔凈室中看到了這些機制中的每一種，但最重要的是重力沉降、湍流沉積，在某些情況下還有靜電吸引。對于小于約 0.5μm 的顆粒，布朗擴散也起了作用。由于粒子沉積發生在粒子從邊界層轉移到表面時，因此防止粒子沉積的方法是停止轉移。因此，了解我們在潔凈室中最常看到的顆粒和傳輸機制非常重要。引力沉降是指粒子由于重力的影響而沉降到表面上。對于較小的顆粒，這種情況發生得非常緩慢。例如，一個 0.5μm 的顆粒將以大約 0.0008 cm/s 的速率沉降。隨著顆粒尺寸的增加，沉積速度與顆粒直徑的平方成正比。在較大的顆粒中，這是主要機制。當空氣湍流將顆粒沉積在表面上時，就會發生湍流沉積。當空氣湍流更多時，更多的顆粒會沉積到表面上。最后，靜電吸引是指具有相反電荷表面的粒子被拉在一起。大多數空氣中的粒子和表面都有某種形式的電荷，因此我們確實看到了這一點。但由于潔凈室結構的性質，我們只能在某些情況下看到它。從一開始就阻止顆粒進入潔凈室首先，確保在顆粒進入潔凈室之前將其阻止。我們經?？吹酱蠖鄶殿w粒與人類一起進入，因此請仔細檢查您的防護服協議并進行定期培訓。還要監測空氣中的顆粒物，以確保您的潔凈室保持清潔。如果空氣中沒有顆粒，它們就不會沉積在表面上并造成污染。策略性地分層表面：一般來說，潔凈室的設計可以避免關鍵表面出現較大的靜電荷。這最大限度地減少了電磁粒子的吸引。您還可以通過使用電接地材料來最大限度地減少吸引力。正因為如此，在實驗過程中，我們發現引力沉積是主要機制。因為它是主要機制，所以可以假設分層在另一個表面上的板會保護第二個表面。我們在潔凈室中經?？吹竭@種保護方法。然而，我們仍然在底面上看到了顆粒沉積。這是由于頂板和底板上方的空氣湍流造成的。因此，我們看到了粒子在兩個表面上的湍流沉積。因此，在設計表面時，重要的是要認識到底板將受到保護，不會受到靜電吸引或湍流沉積的影響。設計您的潔凈室時，不僅要考慮重力沉降。雖然這可能無法防止顆粒沉積，但它是處理沉積后果的重要方法。表面上的顆粒會導致污染，并對您的潔凈室內容物構成風險。因此，使用潔凈室安全產品定期擦拭表面。Lighthosue提供表面塵埃粒子監測方案，采用表面掃描探頭+便攜式塵埃粒子計數器方式進行表面顆粒檢測，如下：
